超純水對芯片企業有多重要?
發布時間:2022-11-22
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發布者:本站
你知道生產芯片的企業一天要用多少超純水嗎?據了解臺積電三納米工廠一天用水量高達十三萬噸。
芯片生產的過程中有一個非常重要的步驟,需要利用純水沖洗,而這個純水的來源就是凈化而來的,因此需要消耗大量的水資源。而越是工藝制程好的芯片,所需消耗的水資源就越多。
對于這個沖洗的環節,我們不得不提到它的用水標準。普通的自來水在芯片沖洗過程中應用是絕對不可以的,我們需要用到的是超純水。超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。
由于芯片生產需要用到大量的超純水,超純水的制備又成為了關鍵問題。超純水設備能夠連續穩定地制備高質量的超純水,不會因樹脂再生而停止運行。